这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度
应用及案例●大学/研究所●环境监测●真空行业及镀膜●工业炉窑●半导体●汽车制造●光伏●燃料电池●计量校准●过程工艺气体测量产品特色●数字化产品●多参数显示和输出:温度、压力、流量等●多参数控制
量程10SCCM-3000SLPM,优于2%的精度,控制范围广,优于100ms响应时间,适用于高压应用 21Q系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320psia)的应用环境进行快速控制响应