富士金Fujikin流量控制器

富士金气体质量流量计T1000系列
具有高精度、快速响应、价格低廉、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、阳能电池等行业，还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求
规格参数
1. 多气体多量程（MG/MR）功能
2. 可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更，从10sccm至50slm
3. 高精度：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保证范围15-35℃)
4. 再现性：±0.2% F.S
5. 强耐腐蚀性
6. 输入输出信号:模拟（0-5VDC）/RS-485、Device Net
7. 全量程范围、响应速度快，≤1sec
8. 密封材质：金属密封/橡胶密封
9. 阀门种类：NO常开NC常闭型
10. ***大动作压力：400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐压：1MPa
12. 使用温度：5-50℃
13. 金属密封外部泄漏率：1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡胶密封外部泄漏率：1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材质：SS316L不锈钢
16. 接口方式：1/4vcr金属面密封连接，卡套连接