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韩国莱因泰可厂家直供M3050VA气体质量流量控制器
韩国莱因泰可( LINE TECH )高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,广泛应用于所有工业,气体混合及分析 ,半导体工业,光纤,燃料电池,反应器系统,气体的混合系统。产品设计坚固、耐用,且经济。
优 势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高压(95公斤)
l 快速响应时间(< 1 秒)
l 高重复性(±0.25%F.S)
规 格:
| 型号 | M3050V |
| 流量范围(N2) | 25~50 slpm |
| 响应时间 | <1 秒 |
| 精确度 | ±1% |
| 重复精度 | ±0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作压力 | 90 Bar |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
| 控制范围 | 2~99% |
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