岛津分子泵TMP-2404/3304/4304

简要描述：岛津分子泵TMP-2404/3304/4304mks支持RS232C标准的连续通讯－可以对转速、电流值进行监控，异常状况可以早期发现。

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2023-10-15
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详情介绍

岛津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的性能：

＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干

＊更换了全套进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准

＊测试0-27000rpm启动时间<3分钟

＊测试极限真空值<1.0*10－7mbar

＊持续模拟生产现场测试24小时

＊0-20KHz震动频谱加速度分析

＊6000-27000rpm全转速动平衡分析及校准

＊Inficon UL1000氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/

岛津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的特点：

＊宽量程、大排量－可在广阔的压力范围内使用

＊电源装置比前期型号尺寸缩小一半－能使配电盘的面板小型化

＊电源装置不再使用蓄电池－电源装置无需维护

＊加热后真空度可达10-9Pa－能满足超高真空和大抽速的需求

＊支持RS232C标准的连续通讯－可以对转速、电流值进行监控，异常状况可以早期发现

＊转速可调机能－转速可在25％～100％范围内调节

＊具有自我诊断功能－实现故障的早期发现

＊允许突然掉电的次数为260次－如果以1次/周即52次/年来计算，可使用5年无需保养

＊自由调整机能－同一机种的泵、电源装置、电缆都可互换

＊可多方位安装－提高了设备设计的自由度

风冷普通型/化学型	TMP-203M/MC	TMP-303M/MC	TMP-403M/MC	TMP-803M/MC	TMP-1003M/MC	TMP-1103MP/MPC	TMP-2003M/MC
水冷普通型/化学型	TMP-203LM/LMC	TMP-303LM/LMC	TMP-403LM/LMC	TMP-803LM/LMC	TMP-1003LM/LMC	TMP-1103LMP/LMPC	TMP-1303LM/LMC	TMP-2003LM/LMC	TMP-2203LM/LMC	TMP-3203LM/LMC	TMP-4203LMC
(烘烤后)到达圧力(Pa)普通型	10-8	10-8	10-8	10-9	10-9	10-9	10-8	10-9	10-8	10-9
化学型	10-7	10-7	10-7	10-7	10-8	10-8	10-7	10-8	10-7	10-8	10-7
最大吸气口压力(Pa) 风冷型	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3	0.4
水冷型	200	200	200	400	400	70	133	67	40	40	10
最大排气口压力(Pa) 风冷型	40	40	40	40	40	270	40
水冷型	400	400	400	665	665	800	270	270	270	270	270
排气速度(L/s)
N2	190	320	420	800	1080	1080	1300	2000	2140	3200	4200
He	140	340	360	800	930	1040(对于Ar）	1050	1800	2000	3000	4000
H2	120	320	340	700	790	800	750	1600	1350	2400	2800
压缩比
N2	109以上	109以上	109以上	109以上	109以上	109以上	6×108	109以上	1.4×108	109以上	8×108
He	6×104	8×104	8×104	8×104	8×104	107	1×104	7×105	1×104	3×105	1.8×105
H2	4×103	1×103	1×103	4×103	4×103	106	1×103	1.4×104	1×103	1×104	1.0×104
额定转数（RPM）	50000	45000	45000	35000	35000	36000	30300	27000	24600	21000	18000
起动时间	5分以内	5分以内	5分以内	5分以内	5分以内	5分以内	7分以内	9分以内	11分以内	13分	18分以内
安装方向	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	垂直方向
泵体吸气口处烘烤温度	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下
振动（岛津自测）	0.012μm以下	0.012μm以下	0.012μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下
重量（Kg）	9	14	14	31	32	32	34	55	55	70	100
推荐气体清扫流量（SCCM）	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30
前级泵抽速（气体清扫时）	200L/min以上	200L/min以上	200L/min以上	500L/min以上	500L/min以上	500L/min以上	600L/min以上	500L/min以上	800L/min以上	1500L/min以上	1500L/min以上
容许环境温度（℃）	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40
容许磁场密度
半径方向	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT
轴方向	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT
冷却水
流量（L/min）	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	2～4	2～4
水压（Mpa）	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5
水温（℃）	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～25	5～25
对应电源装置名称	EI-D203M	EI-D303M	EI-D303M	EI-D1003M	EI-D1003M	EI-D1103M	EI-D1303M	EI-D2003M	EI-D2203M	EI-D3203M	EI-D4203M

EI-D203M	EI-D303M	EI-D1003M	EI-D1103M	EI-D1303M	EI-D2003M	EI-D3203M	EI-D4203M
额定频率	833Hz	750Hz	1166Hz	1200Hz	1010Hz	450Hz	350Hz	300Hz
蓄电池	不要	不要	不要	不要	不要	不要	不要	不要
组合互换性	泵本体、电源装置、电缆在相同型号交换时不需要调整，即同型号*兼容
环境条件温度/湿度	0～45℃/40～80HR
电源电压	单相AC100～120	单相AC100～120	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V
(50/60Hz)±10％	/200～240V	/200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V	单相AC200～240V
最大所需电力	0.45kVA	0.55kVA	1.0kVA

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