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1179A00412CR1BV流量计气体流量控制器MKS

简要描述:1179A00412CR1BV流量计气体流量控制器MKS深圳市天铉真空技术有限公司1179A流量比例控制器(通用型)1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合

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  • 更新时间:2022-05-05
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1179A00412CR1BV流量计气体流量控制器MKS
深圳市天铉真空技术有限公司

1179A

流量比例控制器(通用型) 

1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。对于当今市场上的质量流量控制器,1179A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其为全量程的1%。技术参数:全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。控制量程:2% to 99%的全量程。测量:全量程的1%灵敏度:全量程的0.1%热机时间:小于2Min.响应速度:小于2Sec.输入电压:±15VDC@100ma输出电压:0-5VDC连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.       数字:RS485或Device net或Profibus法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等材质:316不锈钢。质保期:有限保修自售出之日起12个月





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