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深圳市天铉真空技术有限公司Horiba STEC SEC-N112数字式质量流量控制器
概要
适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-bbbb®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多种通讯方式及电源供给
| 型号 | 选择通讯方式 | 选择供电方式 |
| SEC-N102 系列 | 数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ▶0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供应电源 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通讯 | 符合ODVA标准 |
| SEC-N105 系列 | CC-bbbb®通讯 模拟式通讯 ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-bbbb®标准 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| | PROFIBUS™ 通讯方式 | |
| 模拟式通讯 | ||
| ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
| SEC-N107系列 | EtherCAT® 通讯方式 | 符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V |
- 高精度：±1.0% S.P. (*1)
- 1秒内快速响应 (*1)
- 多气体，多量程解决方案
(*1)包括SEC-N17XR
多气体，多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。
制造: HORIBA STEC
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