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ESR系列(节能型罗茨泵)是多级干式真空泵,设计用于从清洁到中负荷工艺的各种应用。ESR系列的泵速范围从35到1,625 CFM,极限压力低至1 mTorr。
1 x EBARA GENESIS泵522-023
1 x EBARA GENESIS泵522-021
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EBARA 305W涡轮分子泵控制器。
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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223
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Ebara AAS20N干式真空泵经过测试工作
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305W /涡轮分子泵控制器#305W / EB原
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Ebara 50DVSL61.5泵USIP
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EBARA EV-S20P干式真空泵,正常工作
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EBARA AA10,干式泵,真空干式泵,
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EBARA GENESIS真空泵524-421
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bar原干式泵A70W,使用中
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