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?ULVAC FT3500LP turbo pump分子泵

简要描述:性能泵的排气压力与进气压力之比称为

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-10-20
  • 访  问  量:31
详情介绍

性能

泵的排气压力与进气压力之比称为。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010
泵的极限压力为10-9Pa,工作压力范围为10-1~10-8Pa,为几十到几千升每秒(1L=10-3m3)。
涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10-2Pa的前级真空泵。
本身由转速为10000~60000转/分的直联驱动。

 

特点

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空
极限真空:10-6/ 10-10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 



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