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深圳市天铉真空技术有限公司
一、核心服务承诺
- MKS流量计故障：提供无锡、深圳地区专业上门检修服务
- 备用流量计支持：维修期间可提供备用设备，确保生产不中断
- 24小时应急响应：全天候上门抢修、校准，快速解决现场问题
二、CTI On Board低温泵（冷凝泵）技术说明
产品优势
- 无油运行：获得清洁高真空，避免油污染
- 抽速大：对所有气体抽速均较大，尤其对水蒸汽、H?等抽速显著
- 适应性强：适用于多种复杂工艺环境
- 可靠性高：制冷机低速运行，运动部件极少，有利于长期稳定工作
三、典型应用领域
CTI低温泵（冷凝泵）广泛应用于需要清洁高真空或超高真空的各类高档工艺与科研场景，具体包括：
- IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延
- 高能粒子加速器
- 受控热核反应
- 电真空器件制造
- 材料科学研究
- 表面分析仪器
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