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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的简称,中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。艾司摩尔(ASML)为半导体设备供货商,成立于1984年,是从荷商飞利浦分割出来独立的半导体设备公司,总部设立于荷兰的Veldhoven。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列,应用广泛的光刻机型。目前绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。
ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的机型,全部为沉浸式。
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