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广西桂林市七星华创PC100-D压力控制器

简要描述:深圳市天铉真空技术有限公司专业维修销售真空泵

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-19
  • 访  问  量:341
详情介绍

深圳市天铉真空技术有限公司专业维修销售真空泵,分子泵,半导体激光器,流量计,真空计,AMAT半导体配件

等外延设备翻新维修

深圳市天铉真空技术有限公司
七星华创PC100-D压力控制器
PC100-D型压力控制器是七星流量计生产的数字型压力控制产品,为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号和0~5V模拟信号,可以使用单电源(+15~+24 VDC)供电。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。产品标配一个压阻式硅压力传感器和数字电路板,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了的技术,保证了产品的高性能、高品质和高可靠性。

优势

• 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的压力传感技术
• 基于AI的压力控制技术
• 全金属耐腐蚀技术
• 高准确度及高可靠性

技术参数

型号 

PC100

压力类型

绝压

控制压力的满量程

1000Torr、1200mbar

耐压

3MPa

阀口满量程流量

2、3、5SLM

控制方式

上游

温度系数

Zero:±0.02% of F.S./℃;Span:±0.04% of Reading/℃

压力分辨率

0.1 Torr

压力控制精度

±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS)

响应时间

< 1.0 S

工作温度范围

10 ℃ ~ 50 ℃

机械接口

双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头

阀类型

常闭

外漏

< 1 x 10-10(scc/sec He)

内漏

< 1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时,进气端为25 psig,出气端为大气)

供电电源

+15 ~ +24 VDC(< 4 watts)

电气接口

DB-9针



,拍前请联系店主,


AMAT 0010-09257 Rev. C 5000 Etch CVD Nitride 4-6" Gas Box

AMAT 0010-09257 Rev. C 5000 Etch CVD Nitride 4-6" Gas Box6

AMAT 0010-09574 Pedestal 125MM Flat New

AMAT 0010-09750W P5000 CVD Etch RF Match Assembly - Working

AMAT 0010-12582-002 PVD Magnet, Serial # 14321

AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch




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