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等外延设备翻新维修 岩田无油涡旋式真空泵 1、世界,ANEST IWATA制造了无油涡旋真空泵
岩田无油涡旋式真空泵
1、世界,ANEST IWATA制造了无油涡旋真空泵
2、岩田无油涡旋真空泵不会污染真空管路和腔体,也不会造成泵体周围的环境污染
3、iwata无油涡旋真空泵低振动、低噪音,性能稳定
4、无油涡旋真空泵不使用油和冷却水,可以在大气压附近连续运转,操作简单
5、岩田无油涡旋泵极限真空低,应用广泛
岩田无油涡旋真空泵应用范围
电子加速器,同步辐射光速线真空抽气
涡轮分子泵,罗茨泵等机械泵的预抽真空
真空固定
真空搬运
真空成型
真空泄漏检测
真空脱气
真空干燥
冷凝泵再生
真空包装
溅射装置
曝光装置
真空镀膜
分析仪器
回收装置
液晶注入、封装装置
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