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等外延设备翻新维修 631F 1-1000 Torr,加热(150 或 200°C) Baratron® 电容压力计,在非常高的内部温度下运行,通过几乎消除由污染引起的输出漂移地减少传感器内过程副产物的沉积。其可用的工作温度为 150°C 或 200°C,可用于半导体制造中的真空工艺,例如金属蚀刻和氮化膜化学气相沉积 (CVD)。
AMAT - 0040-54319 - CAP, LID, ALD TAN 300MM5
AMAT 0190-17208 VACUUM HANDLER ASSY
AMAT 0240-31205 KIT REWORK WAFER bbbbbbbb SENSOR/LOADLOCK3
AMAT 0010-00813 Flatfinder Assembly 150 MM Stretch Endura
AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assembly Chemraz
AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assembly Chemraz6
AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assy. (Chemraz) Etch
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AMAT 0010-02977 Automatic Matching Network RF SUB ZERO BESC
AMAT 0010-03175 Susceptor Assembly 200mm TEOS 8" Ceramic
AMAT 0010-03175 Susceptor Assembly 8"/200mm TEOS
AMAT 0010-03412 WxZ Heater Assembly
AMAT 0010-03412 WxZ Heater Assembly5
AMAT 0010-03530 Diamond C Head Carrier Plate Assembly + Certs
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AMAT 0010-07563, 0020-19999 Block 300mm Magnet Holder & Magnet
AMAT 0010-09257 Precision 5000 CVD Nitride 4-6" Gas Box P5000
AMAT 0010-09257 Rev. C 5000 Etch CVD Nitride 4-6" Gas Box
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AMAT 0010-09574 Pedestal 125MM Flat New
AMAT 0010-09750W P5000 CVD Etch RF Match Assembly - Working
AMAT 0010-12582-002 PVD Magnet, Serial # 14321
AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch
AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch6
AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals
AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals6
AMAT 0010-16957 Assembly Liner Top Source 200mm/8" HART
AMAT 0010-21751 Resonator, 300 mm
AMAT 0010-22476 Side PVD Magnet 300mm Encore w/ Cert.
AMAT 0010-30419 Heater WxZ 200mm/8" Assembly NLT .060 (AS/IS)
AMAT 0010-30419 WxZ Heater 8" Assembly P5000 NLT .060
AMAT 0010-30419 WxZ Heater 8" Assembly P5000 NLT .0606
AMAT 0010-30690 Heater AxZ 200mm/8" Assembly SR
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AMAT 0010-36114 Rev. P3 DPS RF Match Assembly R0
AMAT 0010-36159 Throttle Valve Shipping Plate Assy. DPS
AMAT 0010-36159 Throttle Valve Shipping Plate Assy. DPS3
AMAT 0010-36475 TxZ Heater 200mm/8" Assembly JMF
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AMAT 0010-36758 JMF Flat ESC Chuck 200mm/8" Pedestal Assy.
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AMAT 0010-37784 Rev. P3 TixZ 200mm/8" Ceramic ALN Heater
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AMAT 0010-39432 Etch Chamber RF Match for Centura MXP+/eMXP+
AMAT 0010-39432 RF Match for Centura MXP+/eMXP+ Etch Chamber
AMAT 0010-60017 Susceptor ENH Giant Gap 5" Ceramic Assy. NIT
AMAT 0010-60017 Susceptor ENH Giant Gap 5" Ceramic Assy. NIT5
AMAT 0020-30628 Vespel Clamp Ring New
AMAT 0022-77519 //FIXTURE, PAD CENTERING
A
Wafer Orienter 8" 0010-70131 AMAT6
White Knight AMAT Shuttle Pump PL-120 PL120 PL-120-0146
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