提供NIKON备件（包含易耗件）

1，常用的马达

*ulhaber minimotor的173：1，30.7：1，41：1等

stage
motor（YASKAWA motor）

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader，wafer stage各部位控制马达

2，常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3，卤素灯

卤素灯包括NIKON和USHIO

4，LSA
HE-NE激光管，激光干涉计interferometer

5，NIKON其它各类备件，如电路板等

6，NIKON电路板维修（以坏换好）等

深圳市天铉真空技术有限公司AE 霍廷格 赛恩电源镀膜射频匹配器维修

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

客户得益

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的应用

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/McMahon原理）。

有关COOLVAC系列低温泵的设计，请见以下示意图的内容。

一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低温泵的障板（6）。

根据泵的型号和工作条件不同，达到45到80K的工作温度，水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很好地传递热量，从而优化制冷容量。

另外，热辐射防护屏经过抛光，将反射损失降到尽可能小。二级冷头（7）用于冷却冷伞（8）。

根据工作条件，达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀（UHV型带有爆破膜），安全阀由工厂设置，过压150mbar（113托）时打开。

为了保证在安全阀动作时，安全地排出可能影响健康的气体，安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰，上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气体都蓄积在泵内，饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度，由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体（例如氮气）加热低温区到室温。此情况下，由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度，所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大，可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- 极大的降低投资和操作成本

- 占地面积小

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下，低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程保证了气体被连续排出，也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放：

- 吸附在冷伞上的气体（例如氢气、  氦气、氖气）

- 冷凝在冷伞上的气体（例如氮气、  氧气、氩气）