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nikon光刻机配件motor(YASKAWA motor)

简要描述:LF-F/LV-F系列oerlikong莱宝真空低温泵COOLVAC10000iCL维修流量计销售,全套校准证书,一年质保期

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-20
  • 访  问  量:187
详情介绍

LF-F/LV-F 系列oerlikong莱宝真空低温泵COOLVAC10000iCL维修


流量计销售,全套校准证书,一年质保期。

本公司专业销售质量流量计近40年,具有丰富的销售和售后服务经验,我们有专业的服务团队和专业工程师对产品进行跟踪服务。
具体产品参数,价格请询价,请联系经理

本公司主要经营的品牌有:

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORECTI BROOKS远程显示器模块控制OB8 iso200接口现货

SAM

STEC

深圳市天铉真空技术有限公司AE 霍廷格 赛恩电源镀膜射频匹配器维修

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空,冷表面(低温板)必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

尼康光刻机

提供NIKON备件(包含易耗件)

1,常用的马达

*ulhaber minimotor的173:1,30.7:1,41:1等

stage
motor(YASKAWA motor)

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader,wafer stage各部位控制马达

2,常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3,卤素灯

卤素灯包括NIKON和USHIO

4,LSA
HE-NE激光管,激光干涉计interferometer

5,NIKON其它各类备件,如电路板等

6,NIKON电路板维修(以坏换好)等

深圳市天铉真空技术有限公司AE 霍廷格 赛恩电源镀膜射频匹配器维修

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空,冷表面(低温板)必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

客户得益

低温泵的优势:

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有的抽速

对于相同直径的高真空法兰,低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2:

与气体传输泵(例如涡轮分子泵)相比,低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点:

- 与其他高真空泵相比更加紧凑(抽速大于1500 l x s-1)

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的应用

 

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却(Gifford/McMahon原理)。

有关COOLVAC系列低温泵的设计,请见以下示意图的内容。

一级冷头(9)冷却热辐射防护屏和低温泵的障板(6)。

根据泵的型号和工作条件不同,达到45到80K的工作温度,水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质,它们能很好地传递热量,从而优化制冷容量。

另外,热辐射防护屏经过抛光,将反射损失降到尽可能小。二级冷头(7)用于冷却冷伞(8)。

根据工作条件,达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。


COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀(UHV型带有爆破膜),安全阀由工厂设置,过压150mbar(113托)时打开。

为了保证在安全阀动作时,安全地排出可能影响健康的气体,安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰,上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵,所以被抽气体都蓄积在泵内,饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度,由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体(例如氮气)加热低温区到室温。此情况下,由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度,所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大,可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- 极大的降低投资和操作成本

- 占地面积小

 

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下,低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程保证了气体被连续排出,也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放:

- 吸附在冷伞上的气体(例如氢气、  氦气、氖气)

- 冷凝在冷伞上的气体(例如氮气、  氧气、氩气)

真空接口位于上端,冷头在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名规则相同,可提供从1500到60000l/s的全系列产品。

3. 特殊低温泵

莱宝真空可以根据客户要求提供特制低温泵,如为航天环境模拟应用提供大口径液氮辅助制冷低温泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,详细信息请和我们联系。

典型应用

- 蒸发器

- 溅射系统

- 离子注入机

- 光学镀膜机





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