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ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新
延长了使用寿命
加热元件的发热越有效，需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够热输出的涂层工艺。
钨基层具有高孔隙率的
- 钼（熔点：2620°C）和钨（熔点：3420°C）均是难熔金属，高熔点使它们非常适合用于诸如 MOCVD 和 MBE 之类的高温工艺。
- 耐腐蚀：
钼和钨在各种环境中都具有耐腐蚀性，甚至在温度下也是如此：
| 钼 | 钨 | |
| 氨气 |
- 在操作过程中，反应室部件中的杂质也可能污染半导体。要保证半导体的质量和 LED 或晶体管的效率，我们的材料必须无杂质。我们保证材料纯度高于 99.97%。
- 蒸气压低：
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