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ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door

简要描述:ETCH主要产品涉及金属加工件chamberLinear/heater/slitdoor);密封件;以及ESC(包括ESC翻新延长了使用寿命加热元件的发热越有效,需要对它们进行的加热就越少

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-20
  • 访  问  量:434
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ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新

延长了使用寿命




加热元件的发热越有效,需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够热输出的涂层工艺。



钨基层具有高孔隙率的

  • 钼(熔点:2620°C)和钨(熔点:3420°C)均是难熔金属,高熔点使它们非常适合用于诸如 MOCVD 和 MBE 之类的高温工艺。
  • 耐腐蚀:
    钼和钨在各种环境中都具有耐腐蚀性,甚至在温度下也是如此:
氨气
  • 在操作过程中,反应室部件中的杂质也可能污染半导体。要保证半导体的质量和 LED 或晶体管的效率,我们的材料必须无杂质。我们保证材料纯度高于 99.97%。

  • 蒸气压低:




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