MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空计AMAT气体流量计0190-51152
Granville-Phillips 隔膜规390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N:390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
UFC-8165 流量计flowmeter
mks385620-4-GE-T-00049 真空计 356005-YE-T 传感器
全新lam metal VODM 料号:796-055344-005MKS传感器51B13TCA2BA990/51C13TCA2BA990
等离子注入机刻蚀VAT阀门08138-FA24-0001
<span font-size:14px;"="">TC6MVCR是AMAT 3310-01071、Teledyne Hastings DV-6-VCR和Brooks 8112105热电偶仪表
AMAT真空计1350-00681美国MKS流量计的详细信息MKS真空计355400-0-TD-T气体流量控制器
HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液质流量计
MKS MODE:1179A00452CR1BV真空计 流量计美国 日本
● 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压,大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级
● 3个用于工艺控制的中继点(选择性)
● 超的设计
● 为工艺控制提供高的测量精度
● 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作
● 可以抵御大气冲击和振动
● 可以方便地安装于任何方向,没有任何测量精度的损失
● 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级
● 符合欧洲CE,EMC标志
MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。
● 一般的真空压力测量
● 前极管路和低真空的测量
● 气体的充填测量和控制
● 质谱仪器的控制
● 真空计的启动
● 工艺系统的控制
● 控制系统的压力
深圳市天铉真空技术有限公司
sell Exchang Repair
Description注入机 FILAMENT P.S电源
Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration information:
1.Configured for 8'' wafer
2.automatic wafer handling
3.Cl2 based etching process
4.3 process modules
5.Inspected by SPTS OEM engineer
6.Missing 1x Mag7 robot
7.Missing 1x VCE B controller
8.Missing 1x 24V DC Power supply
bbbEDYNE传感器DV-6VCR真空压力器