BROOKS流量计通过设定点继电器输出准确且可重复的大气压差指示。允许连续监测从大气压到1x10-4Torr的真空系统性能。提供对压力测量的高速访问以及与其他传感器和控件的轻松集成。
BROOKS流量计的检修步骤:
(1)仔细检查流量计传动轴与传动轴铜套的结合面有无渗漏现象。铜套内的O型密封圈损坏会造成外泄漏,影响流量计的准确度。若有渗漏现象,就应该更换铜套内的O型密封圈。方法是卸下铜套,取出传动轴与接头之间的连接销,取下接头,将传动轴从铜套内取出,更换O型密封圈后再按相反顺序复装。
(2)若无外漏现象,下一步则为调节调量活塞。调节方法为:卸下流量计端盖上的盖形螺母,拧动调量活塞的行程。流量计内连接上下连杆的连接块孔径磨大,使活塞行程增加,造成准确度降低,也可用调节调量活塞行程的方法解决。
(3)如果还没有解决问题,就可以判断为是流量计的内部故障了。O型密封圈损坏或者胶木轮磨损变形都有可能影响流量计的准确度。解决方法为:打开流量计的四个端盖,把流量计顶部的铜套和传动轴、传动木头一起卸下,把四个活塞也卸下,取出上下连杆及胶木轮。
如果是O型密封圈及胶木轮损坏则更换;如果O型密封圈及胶木轮没有损坏则流量计就不能再使用了,需要返厂修理,因为很有可能是缸套及活塞磨损过大造成的内泄露增加。