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爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵

简要描述:爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-14
  • 访  问  量:657
详情介绍
爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的介绍
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
 
用途
•  活性气体(CVD、刻蚀等)。
•  排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
•  用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
•  作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。
 
爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的技术参数:
 

 

 

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