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爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的介绍
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
爱发科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的技术参数:
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