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概要
MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下*实现成本降低的量产产品。材质和泄漏规格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列*一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
特征
- 具有广泛的用途
在一般产业中也有大量的销售记录
- 追求成本优势、实现成本降低
规格
| 型号 | SEC- (质量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
|---|---|---|---|
| SEF- (质量流量计) | E40 | E50 | |
| 适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
| 气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
| 阀门型号 | 非通电时 关闭 | ||
| 标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控制范围 | 2?99% F.S. | ||
| 流量测量范围 | 0?99% F.S. | ||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反复性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差压值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
| 使用压力 | 300kPa(G)以下 | ||
| 耐 压 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
| 使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) | ||
| 流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S. | ||
| 流量输出信号 | 0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) | ||
| 驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | ||
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