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概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
- 适用于高温：可满足150℃烘焙
- 产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
- 超清洁类型：接气部全不锈钢构造
- MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
规格
| SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
| SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭载 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
| SEC-8440LSL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
| SEC-8450LSL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
| SEC-8455LSL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
| SEC-8460LSL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
| SEC-8440LSM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
| SEC-8450LSM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
| SEC-8455LSM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
| SEC-8460LSM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
| SEC-8440LSH | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
| SEC-8450LSH | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
| SEC-8455LSH | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
| SEC-8460LSH | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
| SEC-8440SL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
| SEC-8450SL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
| SEC-8455SL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
| SEC-8460SL | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
| SEC-8440SM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
| SEC-8450SM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
| SEC-8455SM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
| SEC-8460SM | |
| 气体接触部材质 | SUS-316L |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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