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概要
SEC-Z700系列和CRITERION D200系列即使在上流和下流压力影响的情况下也可以提供稳定的流量控制。标准的气路系统会有调压阀，压力传感器和过滤器来避免压力影响对流量控制的干扰。新型号的质量流量控制器，如SEC-Z700系列和CRITERION D200系列，可以不受上流和下流压力的影响，提供高稳定性的流量控制。不仅可以提供流量输出，还可以读取温度和压力数据。可以通过模拟信号控制，也可以通过RS-485和DeviceNet的数字通信控制。这种型号适合用于高性能，紧凑型和减少管路重量的气路系统。
特征
- 复合气体/复合流量功能-气体种类和全流量可以由客户更改。
- 可变PID功能提供全流量范围高速响应时间（在一秒以内）
- 紧凑型气路-不需要调压阀，压力传感器和过滤器
- 稳定气体流量控制，不受上流和下流压力的影响
- 集成进气端压力传感器
- 自身多种显示
- 精度保证1%设定流量
- 超洁净设计：金属密封圈，所有都是SUS-316L不锈钢，并且经过表面抛光（标准）
- 紧凑型尺寸-50SLM以内采用一样的尺寸
- 信号兼容-模拟/RS485数字模式，DeviceNet模式
- 网络功能-通过数字信号控制
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