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SEC-8000F高温质量流量控制器

简要描述:概要SEC-8000F/D系列,可以在高温环境下工作,实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-14
  • 访  问  量:316
详情介绍

 

概要
SEC-8000F/D 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
特征
  • 具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度:±1.0% 设定流量.
  • 超快速响应
  • 超洁净处理
  • 满足RoHS 环境标准


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