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规格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于50slm N2 标称流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于200slm N2 标称流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于 50slm N2 标称流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于 200slm N2 标称流量.
概要
质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为范围内*超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携全新的技术，HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器： Z500系列。
相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了全新的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。
此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求，为客户提升产品价值。
高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。
*1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。
特征
- 高精度：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。 - 高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统，保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。 - 复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。
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