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SEC-E50质量流量控制器

简要描述:概要它是搭载有温控阀的基本型号

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-14
  • 访  问  量:348
详情介绍

概要

它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

  •  可对应±0.5F.S.SEC-405(气体种类限定)
  • 同系列产品,从0.1CCM200SLM(N2)都可进行流量控制
  • 实现面间距离106mm: SEC-300型式

规格

 

SEC-310

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开; NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-320

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-405

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±0.5% F.S.(满量程)

SEC-410

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-510

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-510A

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-520A

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-551

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-552

 

气体接触部材质

SUS-316、バイトン

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-610

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范围

10?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-620

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范围

10?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-623

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

150/200 SLM (H2:300 SLM)

流量控制范围

10?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-400MK2

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-500MK2

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-400MK3

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-500MK3

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

 



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