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LAM796-055344-005
特点
流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽）
具有超高流量精度的直接水蒸汽测量
能直接连接到厂房去离子水供应系统
在较低温度下可操作（非过热状态）
冲刷和排水的优化设计
EtherCAT数字通讯
Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面
优势
采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
适用于各种FAB去离子水供水的压力
接液件耐腐蚀性能增强
确保更清洁的操作
可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口
直接用户界面可增强数据收集或故障排查
应用
硅材料半导体金属刻蚀后段工艺
硅材料半导体金属剥离工艺
在负大气压的环境中超高纯加湿
美国BROOKS布鲁克斯5850E气体流量计 美国MKSDLT4B-34749气化机器MFVC-33167流量校准计MFVC-29886
深圳市天铉真空技术有限公司
Coastal Instruments 成立于1980年，是国内专业的流量计服务商。致力于进口质量流量计、压力传感器等压力测量器件的校准、维修及销售服务。其技术*、高可靠性及诚信使其成为行业的，是专业的MFC技术服务商。
深圳市天铉真空技术有限公司 专门经营进口气体质量流量计销售，全套校准，一年质保期。
本公司专业销售质量流量计近40年，具有丰富的销售和售后服务经验，我们有专业的服务团队和专业工程师对产品进行跟踪服务。
具体产品参数，价格请询价
本公司主要经营的品牌有：
HORIBA
MKS
BROOKS
UNIT
AERA
MKS
MYKROLIS
MILLIPORE
SAM
STEC
BRONKHORST
美国BROOKS布鲁克斯5850E进口气体流量计
BROOKS 5850E 5851E SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC
HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059喷射阀
七星华创流量计D07-7B氩气100sccm***深圳市天铉真空技术有限公司
Fil-tech G8136P/1美国FIL-TECH 离子规真空规
Fil-tech品牌以下产品都可预订，欢迎咨询
3300002 G75PT; 7631-0001-0002 G75KT;
AMAT0190-51152喷射阀HORIBAIV-2401AV-02h
UE压力开关 E48W-H76 E48W-H77 PV48W-17 P36W-17/04-716704-01
美国FIL-TECH 对流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/101GG
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