HORIBA流量计AMAT3030-17596

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产品型号：2203
厂商性质：经销商
更新时间：2024-05-15
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AMAT3030-17596

Cryo-Plex 16 低温泵

考虑全面的高效设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案。

标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域

配置灵活

支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵，从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室，是非常理想的选择。

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。

参数

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	最宽的流量和压力适用范围长期稳定性保障设备使用价值包括经认证适用于危险区域的产品可清洗/冲洗的设备外壳流体类型气体流量范围-满量程容量 3 sccm - 2500 lpm 精度 ± 0.6% of SP 最大压力 4500 psig 温度 65oC 输出类型 Analog & Digital 金属密封热适用于对湿度或氧气敏感的过程高纯度流路可最大限度降低过程污染，提高产率超快速响应能力流体类型气体流量范围-满量程容量 3 sccm - 300 slpm 精度 SP ±1% 最大压力 150 psig 温度 50oC 输出类型 Analog & Digital 高温热最高工作温度高精度和可重复性超高纯度结构流体类型气体 , 水汽流量范围-满量程容量 3 sccm - 10 slm 精度 SP ±1% 最大压力 145 psig 温度 105oC 输出类型 Analog & Digital 科里奥利超低流量过程可达到的最高精度内置式液体密度计同时适用于液体和气体应用的设备流体类型气体, 液体流量范围-满量程容量 10 - 27,000 gram/hr 精度 0.2% - 0.5% of Rate 最大压力 4500 psi 温度 65oC 输出类型 Analog & Digital 60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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