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HORIBA流量计AMAT3030-17596

简要描述:AMAT3030-17596EDWARDS爱德华、磁悬浮分子泵维修、普发分子泵维修、Varian分子泵、ULVAC分子泵维修、阿尔卡特分子泵维修、Leybold分子泵维修、EDWARDS分子泵维修、SeikoSeiki分子泵维修、岛津分子泵维修、Osaka分子泵维修私营合伙企业

  • 产品型号:2203
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-05-15
  • 访  问  量:248
详情介绍

         AMAT3030-17596              

Cryo-Plex 16 低温泵


HORIBA流量计AMAT3030-17596


考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案。


标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域

配置灵活

支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵,从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室,是非常理想的选择。

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。




参数

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air3,000
Water9,000
Hydrogen5,000
Argon2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen24
Argon2,000
Throughput
Argon sccm1,500
Crossover
Torr-liters300
Cool down time
60 Hertz


  • 最宽的流量和压力适用范围

  • 长期稳定性保障设备使用价值

  • 包括经认证适用于危险区域的产品

  • 可清洗/冲洗的设备外壳

流体类型
气体
流量范围-满量程容量
3 sccm - 2500 lpm
精度
± 0.6% of SP
最大压力
4500 psig
温度
65oC
输出类型
Analog & Digital

金属密封热



  • 适用于对湿度或氧气敏感的过程

  • 高纯度流路可最大限度降低过程污染,提高产率

  • 超快速响应能力

流体类型
气体
流量范围-满量程容量
3 sccm - 300 slpm
精度
SP ±1%
最大压力
150 psig
温度
50oC
输出类型
Analog & Digital

高温热


  • 最高工作温度

  • 高精度和可重复性

  • 超高纯度结构

流体类型
气体 , 水汽
流量范围-满量程容量

3 sccm - 10 slm

精度
SP ±1%
最大压力
145 psig
温度
105oC
输出类型
Analog & Digital

科里奥利



  • 超低流量过程可达到的最高精度

  • 内置式液体密度计

  • 同时适用于液体和气体应用的设备

流体类型
气体, 液体
流量范围-满量程容量

10 - 27,000 gram/hr

精度
0.2% - 0.5% of Rate
最大压力
4500 psi
温度
65oC
输出类型
Analog & Digital
60 Min
Cryopump measurements
Height23.9"
Weight LBS85
Inlet flangeANSI/ISO/CF


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