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概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统，也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器，则可*符合制程要求。
特征
- 采用金属避风垫圈
可对应腐蚀性气体
- 搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载
规格
?SEC-E400J
| 气体连接部材质 | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不锈钢材质阀形式 | 非通电时:闭标准 |
| 流量范围 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
| 气体连接部材质 | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不锈钢材质阀形式 | 非通电时:闭标准 |
| 流量范围 | 20/30 SLM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
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