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HORIBA质量流量控制器
概要质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备
概要MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下*实现成本降低的量产产品
概要搭载采用了冷却检测方式的流量传感器特征通过采用数字回路,实现了高精度?高速响应
Z514
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