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HORIBA质量流量控制器
概要基于多年来技术产品的市场发展经验,我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品
概要高稳定性的质量流量计-气体流量控制不受上流和下流端压力变化的影响
概要SEC-Z700系列和CRITERIOND200系列即使在上流和下流压力影响的情况下也可以提供稳定的流量控制
概要SEC-8000F/D系列,可以在高温环境下工作,实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求
概要作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注
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